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教授
博士生导师
硕士生导师
教师拼音名称：
linnan
电子邮箱：
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入职时间：
2025-10-15
所在单位：
集成电路科学与工程学院
学历：
博士研究生
办公地点：
第一馆312
性别：
男
学位：
博士
在职信息：
在职
其他任职：
杭州国际创新研究院
毕业院校：
巴黎萨克雷大学/法国原子能署
研究领域
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研究领域
研究领域：
先进光刻机及芯片量检测设备
研究方向：
1. 极紫外光源；2. 先进光刻技术； 3. 芯片测量与检测方法； 4. 阿秒脉冲产生与应用
