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硕士生导师
教师英文名称：
Li Jin
教师拼音名称：
Li Jin
电子邮箱：
013b5482511f73ece9038ddb5648f874dd98fd14aadd823a4dcd6af39239e3badd9f8f28b7e3ffd93c58bec084d5262e47c19b14c3cda1e024d5e3d87bde25f8b7fca7a66abcc9f8ad77bbd76917c747ce5a7bd9a16d99af9fa6e663289e9c3ba2ff41a777f1853fc29b789bc6d979860d234aee5de6634d89f7c28d4cd3afe5
入职时间：
2025-01-10
所在单位：
杭州国际创新研究院
性别：
男
在职信息：
在职
毕业院校：
北京航空航天大学
研究方向
当前位置:
中文主页
>>研究方向
ALD前沿工艺开发
面向半导体与集成电路制造需求，发展选择性
ALD
、不饱和
ALD
等前沿工艺技术，实现对特定微纳区域与单原子层沉积成分的精确调控，为高精度图案化工艺与复杂功能薄膜制备提供解决方案。
