各类薄膜材料的设计、研发、制备、表征，涉及材料的基础理论研究及生长制备工艺探索，具体包括：金属薄膜与金属纳米颗粒，二元/三元氧化物、氮化物薄膜制备；复合薄膜、超晶格制备；半导体掺杂与离子注入；功能薄膜生长制备及其在透明导电，柔性导电，发光，介电，储能等领域中的应用研究；结合第一性原理计算(DFT)与实验手段，对固体（半导体）中缺陷进行表征和调控，并研究其对物理性质的影响