北京航空航天大学主页平台系统詹天卓--中文主页-- Effect of thermal boundary resistance between the interconnect metal and dielectric interlayer on temperature increase of interconnects in deeply scaled VLSI

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教授
博士生导师
硕士生导师
教师拼音名称：zhantianzhuo
电子邮箱：
入职时间：2024-08-30
所在单位：机械工程及自动化学院
学历：博士研究生
办公地点：北航沙河校区3号楼428
性别：男
联系方式：zhantianzhuo@buaa.edu.cn； zhantianzhuo@126.com
学位：博士
在职信息：在职
毕业院校：日本九州大学
学科：机械工程

论文

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Effect of thermal boundary resistance between the interconnect metal and dielectric interlayer on temperature increase of interconnects in deeply scaled VLSI

DOI码：10.1021/acsami.0c03010
发表刊物：ACS Applied Materials & Interfaces
论文类型：期刊论文
文献类型：期刊
卷号：12
期号：19
页面范围：22347-22356
是否译文：否
发表时间：2020-04-21
收录刊物：SCI

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