发布时间：2022-03-23 点击次数：
开课学期：春学期
课程号：待定
课程类型：研究生课程
是否精品课程：否
副教授 博士生导师
电子邮箱：
所在单位：集成电路科学与工程学院
学历：博士研究生
办公地点：学院路校区第一馆
在职信息：在职
主要任职：集成电路工艺与装备系系主任、校级微纳公共创新中心副主任