副教授 博士生导师
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所在单位:集成电路科学与工程学院
学历:博士研究生
办公地点:学院路校区第一馆
在职信息:在职
主要任职:副院长
其他任职:校级微纳中心常务副主任
王新河,北航集成电路学院副教授,博士生导师,北京市科技新星。本科毕业于清华大学数理基础科学班,并取得清华大学理学博士学位,博士期间于伯克利加州大学作访问学者。研究方向为集成电路设备(工艺检测和设备控制)与新型器件电路(自旋和碳基电子学),包括:
1)针对集成电路原子级制造面临“测不准、控不稳”的难题,发展多物理场协同分析、智能传感融合与实时反馈控制三位一体智能控制框架,为突破极端制造中精密感知与控制的物理极限提供了创新理论,在此基础上开发了原子级精度薄膜沉积-刻蚀-表征技术及设备:①实现了晶圆级原子层精度的超高真空物理气相沉积系统UHV-PVD,支撑中电科、航天科技等骨干企业芯片研制;②为原子层刻蚀系统ALE开发了基于物理模型的工艺过程精准控制及集成方案并应用于北方华创;③研制中国首台晶圆级高分辨磁光克尔检测系统与④12英寸原子力显微镜,性能国际领先,供应于中芯国际、中电科、清华大学、中科院物理所等单位,磁光克尔检测系统年销售额突破8000万元,国内市占率超过60%。
2)针对目前器件中自旋调控机制面临的室温有效性和微缩难题,在自主创新设备的支撑下,探索自旋-轨道电子学与谷-自旋电子学的交叉,发现了Zeeman自旋轨道场调控自旋进动的新机制,将自旋翻转沟道由国际上的微米级一举缩短至亚纳米。此突破被诺奖Fert评价是“令人兴奋的新概念”,相关工作被美国物理联合会报道。
3)面向原子尺度多态信息耦合和异质比特高效转化的需求,在高性能器件基础上,探索基于纳机电系统的电荷(自旋)-声子异质比特耦合机制,发展了“比特定义—飞行—操作—转化”方案,并实现了世界上最小精度最高的扭秤。系统性的突破受到了领军学者在REVIEWS OF MODERN PHYSICS中权威综述的引用评述和领域内持续关注。
近5年在Applied Physics Reviews(封面)、Science Advances、Nano Research、SCIENCE CHINA-Information Sciences等期刊发表论文10余篇,累计申请中国发明专利18项(已授权15项)、美国发明专利(第一发明人)授权12项。主持项目和课题16项,包括国家自然科学基金面上项目、青年项目,国家科技重大专项课题、基础加强计划技术领域基金子课题、科技部青年科学家项目子课题,北京自然科学基金面上项目、北京市科技计划课题等,参与工信部某重大设备专项(排名2)。解决集成电路设备卡脖子技术四项,通过学校学科性公司和领军企业北方华创实现产业转化,年经济效益超过8000万元。获得代表性荣誉包括北京市科技新星(2022年)、小米青年学者(全国性基金奖励,2024年)、人社部“博新计划”人才(2018年);Microsystems & Nanoengineering 青年科学家提名奖等荣誉。
招收微电子、物理、仪器、自动化等相关专业硕博士研究生。本课题组培养后摩尔时代器件电路原始创新人才和集成电路设备自主发展紧缺人才,有丰富的学术、产业和国际化培养资源,发展前景广后劲足,欢迎加入!