副教授 博士生导师
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所在单位:集成电路科学与工程学院
学历:博士研究生
办公地点:学院路校区第一馆
在职信息:在职
主要任职:集成电路工艺与装备系系主任、校级微纳公共创新中心副主任
王新河,北航集成电路学院副教授,博士生导师,北京市科技新星。本科毕业于清华大学数理基础科学班,并取得清华大学理学博士学位,博士期间于伯克利加州大学作访问学者。
研究方向为微纳电子(碳基和自旋电子学)与集成电路设备(工艺测控和量检测技术)。包括:
1)低维半导体器件、电路设计与实现:基于界面耦合探索实现高效自旋过滤,发展了Spin-orbitronics和Valley-spintronics的新交叉领域,将自旋沟道长度由微米一举缩短至亚纳米。基于碳纳米管+磁隧道结设计1T1R近存计算电路,相对硅基电路速度提高150%,能效提高30%;进一步,基于此电路架构了感存算一体的太赫兹图像识别系统,发展了“太赫兹眼”新概念,满足太赫兹波段宽频探测需求。
2)纳机电系统(NEMS)精密感测和信息处理应用:基于碳基纳米器件电路,阐发了一系列耦合效应,相对于同类器件性能提高了2-3个量级,发展了纳米谐振单电子/单自旋穿梭机,以及世界上最小、灵敏度最高的10^-21牛级的扭秤,实现片上光-机电信息转换新方案。
3)集成电路设备技术开发:开展集成电路设备(光刻设备、刻蚀设备、工艺量检测设备)中测控技术攻关,包括温度、压力、工艺过程的智能化测控等,成果应用于国产先进机台。做为项目校方负责人与学校孵化学科性公司协同研制12英寸高分辨磁光克尔检测系统,相应实现的克尔转角检出度指标经鉴定为国际领先,相关产品已依托孵化公司推动商业化,设备年销售额超过3000万元。高分辨率磁光克尔显微镜国产化市场占有率超过60%,有力支撑了中国集成电路自主发展。
近五年在 Applied Physics Reviews ( 封 面 )、 Nano Research 、 SCIENCE CHINA-Information Sciences、 IEEE Trans. Electron Devices 等期刊发表第一作者/通讯作者论文 10余篇,累计申请中国发明专利18项(已授权13项),美国专利授权 12 项。主持国家自然科学基金面上项目、青年项目,北京自然科学基金面上项目等;参与国家科技重大专项、国家重点研发计划青年科学家项目、国自然国际合作项目等,近三年获批经费1300万元。担任国产高起点期刊ADI编委。获北京市教学成果二等奖、北航青年拔尖人才、人社部“博新计划”人才等荣誉,2022年入选北京市科技新星。现任集成电路学院副院长(分管科研工作),北航校级微纳中心常务副主任。
招收微电子、物理、仪器、自动化等相关专业硕博士研究生。本课题组培养后摩尔时代器件电路原始创新人才和集成电路设备自主发展紧缺人才,有丰富的学术、产业和国际化培养资源,发展前景广后劲足,欢迎加入!