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所属单位：集成电路科学与工程学院
负责人姓名：潘彪
项目状态：在研
项目简要备注：自然科学基金青年项目
项目来源单位：国家自然科学基金
成果形式：新技术、新工艺
项目分类：国家自然科学基金
项目子类：青年科学基金项目
项目来源：国家自然科学基金项目
项目级别：国家级
项目编号：62001019
一级学科：电子科学与技术
立项时间：2022-02-28
计划完成时间：2023-12-03
结项日期：2023-12-01
开始日期：2021-01-01
项目批准号：62001019