Formations of anode double layer and ion beam in bipolar-pulse HiPIMS (BP-HiPIMS)
点击次数：
DOI码：10.1088/1361-6595/ac9752
发表刊物：Plasma Sources Science and Technology
关键字：anode double layer, ion beam, PIC-MCC simulation, plasma diagnostics, BP-HiPIMS
第一作者：韩明月
论文类型：期刊论文
一级学科：物理学
文献类型：期刊
卷号：31
页面范围：105014
字数：12000
是否译文：否
发表时间：2022-10-27
收录刊物：SCI
发布期刊链接：
https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6595/ac9752
赞
