Formations of anode double layer and ion beam in bipolar-pulse HiPIMS (BP-HiPIMS)
- DOI码：10.1088/1361-6595/ac9752
- 发表刊物：Plasma Sources Science and Technology
- 关键字：anode double layer, ion beam, PIC-MCC simulation, plasma diagnostics, BP-HiPIMS
- 第一作者：韩明月
- 论文类型：期刊论文
- 一级学科：物理学
- 文献类型：期刊
- 卷号：31
- 页面范围：105014
- 字数：12000
- 是否译文：否
- 发表时间：2022-10-27
- 收录刊物：SCI
- 发布期刊链接：https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6595/ac9752
