庞体强
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庞体强
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研究方向
1、薄膜沉积设备（ALD、离子化PVD、电子束蒸发）研发及相关工艺开发
针对High-K栅介质工艺、深孔镀膜工艺、Lift-off工艺，先进封装工艺，开发ALD、离子化PVD、电子束蒸发等高精度薄膜沉积设备；