北京航空航天大学主页平台系统 Tiqiang Pang--Home-- 1、薄膜沉积设备（ALD、离子化PVD、电子束蒸发）研发及相关工艺开发

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Date of Employment:2024-09-05

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Alma Mater:西安电子科技大学

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Alma Mater:西安电子科技大学

Current position: Home /Research Focus

1、薄膜沉积设备（ALD、离子化PVD、电子束蒸发）研发及相关工艺开发

针对High-K栅介质工艺、深孔镀膜工艺、Lift-off工艺，先进封装工艺，开发ALD、离子化PVD、电子束蒸发等高精度薄膜沉积设备；