吕纲Gang LYU

教授

教授  博士生导师   硕士生导师 

电子邮箱:

所在单位:自动化科学与电气工程学院

学历:博士研究生

办公地点:学院路校区

在职信息:在职

研究方向

当前位置: 中文主页 >>研究方向

功率半导体器件工艺研发

  包括光刻技术、ICP等刻蚀技术,以及工艺集成和新工艺研发