面向半导体与集成电路制造需求，发展选择性ALD、不饱和ALD等前沿工艺技术，实现对特定微纳区域与单原子层沉积成分的精确调控，为高精度图案化工艺与复杂功能薄膜制备提供解决方案。
杭州市北京航空航天大学国际创新研究院 （北京航空航天大学国际创新学院） 副教授。 博士毕业于北京航空航天大学，2019-2021比利时根特大学博士后，2021-2024比利时根特大学助理研究员，获比利时Bijzonder Onderzoeksfonds（BOF）特殊研究基金资助，2025年1月入职北航国新院。 目前招收电子信息与材料方向硕士研究生。 More+
面向半导体与集成电路制造需求，发展选择性ALD、不饱和ALD等前沿工艺技术，实现对特定微纳区域与单原子层沉积成分的精确调控，为高精度图案化工艺与复杂功能薄膜制备提供解决方案。