进行先进ALD设备的研发、测试及优化工作，为区域选择性沉积、复杂纳米结构及多元功能薄膜制备等前沿工艺的突破提供支撑，推动ALD技术在半导体制造、纳米涂层及功能薄膜等领域的应用。
杭州市北京航空航天大学国际创新研究院 （北京航空航天大学国际创新学院） 副教授。 博士毕业于北京航空航天大学，2019-2021比利时根特大学博士后，2021-2024比利时根特大学助理研究员，获比利时Bijzonder Onderzoeksfonds（BOF）特殊研究基金资助，2025年1月入职北航国新院。 目前招收电子信息与材料方向硕士研究生。 More+
进行先进ALD设备的研发、测试及优化工作，为区域选择性沉积、复杂纳米结构及多元功能薄膜制备等前沿工艺的突破提供支撑，推动ALD技术在半导体制造、纳米涂层及功能薄膜等领域的应用。