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对应教学计划：1绪论 (3)2微机电系统(MEMS)工艺基础知识(12)3MEMS传感器应用及其原理(6)4纳机电系统（NEMS）传感器应用及其原理(3)5微纳光纤及其传感器应用(6)6量子传感器技术(6)
课程负责人：丁铭
课程介绍：针对当前仪器光电学院学生在微纳加工、集成样机设计，以及量子传感器件研究中所需基础知识，设置本课程内容。课程内容从MEMS工艺讲起，随后涉及MEMS传感器应用及其原理、NEMS传感器应用及其原理、微纳光纤及其传感器应用，最后讲述MEMS/NEMS与量子力学相结合的量子传感技术，使学生接触到该领域国际的最新动态。
上课时间：春季
考试形式：本课程采取教授、自学、交流（思考题）相结合的方式。学生课下必须自己收集、查阅量子科学仪器领域的文献。 采用课后作业、课堂测验、实践设计和期末考试相结合的考核方式，其中平时成绩占40%，期末考试成绩占60%
面向对象：研究生
学科：DISCIPLINE_ID883766
是否精品课程：否
课时：36.0