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Research Focus
围绕高精度薄膜沉积设备，开展设备机械设计及仿真、设备控制系统算法开发以及设备工艺研究三个细分方向的研究
围绕高精度薄膜沉积设备，开展设备机械设计及仿真、设备控制系统算法开发以及设备工艺研究三个细分方向的研究
Cheng Houyi
Gender:Male
Education Level:博士研究生
Alma Mater:北京航空航天大学
Degree:博士
Status:Employed
School/Department:集成电路科学与工程学院
Business Address:北航学院路校区第一馆224
北航杭州国际校区科研一号楼5016
北航合肥创新研究院主楼D1-918 E-Mail:
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