王新河Wang Xinhe

副教授

副教授  博士生导师  

电子邮箱:

入职时间:2020-12-31

所在单位:集成电路科学与工程学院

学历:博士研究生

办公地点:学院路校区第一馆

在职信息:在职

主要任职:集成电路工艺与装备系系主任、校级微纳公共创新中心副主任

个人简介

王新河,副教授,博士生导师,北京市科技新星。现任集成电路学院副院长(分管科研工作),北航校级微纳中心常务副主任。2012年6月本科毕业于清华大学数理基础科学班,获清华大学一等奖学金、优秀干部等荣誉;2018年1月取得清华大学理学博士学位,博士期间于UC Berkeley作访问学者,获全国卢嘉锡优秀研究生奖、国家博士生奖学金、北京市优秀毕业生、清华大学“紫荆学者”等荣誉。2018年入选“博新计划”博士后入职北航,2020年12月起至今任北航集成电路学院副教授,博士生导师。2022年入选北京市科技新星。

研究方向为新型信息器件与集成电路设备。致力于揭示低维体系中新型机-电-磁耦合特性,开发高效能集成化微电子器件及芯片。包括一维碳纳米管机电系统(NEMS)、二维半导体微电子器件,以及自旋存储和逻辑电路;同时,致力于集成电路装备(光刻设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备)中测控技术攻关,包括温度、压力、工艺过程的智能化测控等。
相关成果包括:

    1)针对超低功耗自旋电子器件面临的室温有效性和微缩难题,利用二维材料揭示了谷-塞曼有效场的进动型自旋翻转新机制,将室温下自旋翻转沟道从目前的微米级缩短至亚纳米级,并开拓了自旋和谷电子学的新的交叉领域(Applied Physics Reviews, 2022,封面论文)。

    2)针对碳基纳米器件精密感测和信息处理应用,低维碳基材料复合制出世界上最小,灵敏度最高的扭秤(精度达到10^-21牛,Science Advances, 2021)。利用碳纳米管将纳机电体系声子耦合强度提高2-3个量级(Nanoscale, 2016)并进一步实现相干声子态振荡,协同系数提高1-2个量级(Nano Letters, 2017);同时首次发现了声子态非局域耦合(Nano Letters, 2016),为声子比特传感操控搭建了新舞台。实现了综合性能优异GHz纳机电系统(Nano Research, 2018),并基于电声耦合实现单电子尺度输运调控(Nano Research, 2020),对变革性感测乃至量子计算具有重要意义。

    3)针对半导体设备卡脖子现状,聚焦高精度工艺测控的软硬贯通技术攻关,突破了高维光谱信息在线监测、机器学习数据识别和工艺状态智能化诊断技术,实现国产化刻蚀机工艺检测模块的自主研发。

    近五年发表SCI论文20余篇,获得美国专利授权12项,中国发明专利10项。主持国家自然科学基金面上项目、青年项目;北京自然科学基金面上项目等;参与国家重点研发计划、国自然重大仪器项目等。担任Advanced Devices & Instrumentation期刊编委(Associate Editor)。获评北航青年拔尖人才、北京市教学成果二等奖等荣誉。

 

近五年代表性论文:

 

[1]   Wang X†, Yang W†, Yang W†, Cao Y†, Lin X, Wei G, Lu H, Tang P, Zhao W. Spin manipulation by giant valley-Zeeman spin-orbit field in atom-thick WSe 2[J]. Applied Physics Reviews, 2022, 9(3): 031402.

[2]   Wang X†, Cong L†, Zhu D, Yuan Z, Lin X, Zhao W, Bai Z, Liang W, Sun X, Deng G-W*, Jiang K*. Visualizing nonlinear resonance in nanomechanical systems via single-electron tunneling[J]. Nano Research, 2021,14,1156.

[3]   Wang X†, Zhu D†, Yang X, Yuan L, Li H, Wang J, Chen M, Deng G, Liang W, Li Q, Fan S, Guo G, Jiang K*. Stressed carbon nanotube devices for high tunability, high quality factor, single mode GHz resonators[J]. Nano Research, 2018, 11(11): 5812.

[4]   Zhu D†, Wang X-H†, Kong W-C, Deng G-W, Wang J-T, Li H-O, Cao G, Xiao M, Jiang K-L, Dai X-C, Guo G-C, Nori F, Guo G-P*. Coherent Phonon Rabi Oscillations with a High-Frequency Carbon Nanotube Phonon Cavity[J]. Nano Letters, 2017, 17(2): 915–921.

[5]   Cong L, Yuan Z, Bai Z, Wang X, Zhao W, Gao X, Hu X, Liu P, Guo W, Li Q, Fan S, Jiang K. American Association for the Advancement of Science, 2021. On-chip torsion balances with femtonewton force resolution at room temperature enabled by carbon nanotube and graphene[J]. Science Advances, 2021, 7(12): eabd2358.


代表性专利:

[1] ELECTROSTATIC SENSING METHOD, 美国, US20160188053A1
[2] Touch and hover sensing device, 美国, US20160188043A1
[3] Electrometer, 2015, 美国, US20160187403A1
[4] HOVER CONTROLLING DEVICE, 美国, US2016188095A1
[5] Electrostatic distribution measuring instrument, 美国, US20160187405A1
[6] 刻蚀气体监测系统及气体状态分析方法,中国,CN202210228509.6
[7] 刻蚀终点检测方法及装置,中国,CN202210204493.5


其他近年来发表论文列表请见下列主页:

ResearchGate 主页:

https://www.researchgate.net/profile/Xinhe-Wang-5 

Google Scholar 主页:

https://scholar-google-com-443.e1.buaa.edu.cn/citations?user=dZCwjiMAAAAJ&hl=zh-CN

 

 

教育经历

[1] 2015.1-2015.4
UC Berkeley | 材料科学与工程 | 其他 | 材料系Junqiao Wu’s group访问学者
[2] 2012.9-2018.1
清华大学 | 物理学 | 博士研究生毕业 | 哲学博士学位 | 清华-富士康纳米科技研究中心
[3] 2008.9-2012.7
清华大学 | 数理基础科学 | 本科 | 理学学士学位

团队成员

团队名称:北航智能微纳公共创新中心团队

团队介绍:

https://bhnano.buaa.edu.cn/