王新河，北航集成电路学院副教授，博士生导师，北京市科技新星。本科毕业于清华大学数理基础科学班，并取得清华大学理学博士学位，博士期间于伯克利加州大学作访问学者。研究方向为集成电路工艺检测与新型器件电路，课题包括：

1）针对集成电路原子级制造工艺“控不稳”难题，以晶圆腔室环境多物理场参数实时感知与反馈控制为核心方向，开展原子级精度沉积与刻蚀设备技术研究。研制原子级精度物理气相沉积系统可实现磁性/氧化物复杂膜堆沉积，沉积精度达1Å，片内与片间均匀性优于3%，经鉴定指标达到国内领先、国际先进水平。围绕原子层刻蚀工艺过程控制，聚焦腔体等离子体周期精准控制、晶圆工艺温度快速抗冲击精确控制、工艺终点在线感知等关键技术，刻蚀控制灵敏度达1Å。成果支撑领军企业实现刻蚀机关键技术创新，并应用于国内先进存储工艺量产线。 

2）针对自旋调控室温有效性和微缩难题，基于自主创新设备搭建原子级界面信息调控平台，发现Zeeman自旋轨道场调控自旋进动新机理，将自旋翻转沟道从国际惯用的微米级极限压缩至亚纳米尺度，被诺贝尔物理学奖得主Fert教授评价为"令人兴奋的新机制"，刊载于应用物理旗舰期刊并被美国物理联合会报道。

3）面向原子尺度多态信息耦合需求，发展基于碳基纳机电系统的电荷（自旋）-声子异质比特高效操控方案，构建"比特定义-飞行-操作-转化"全链条技术体系，研制国际最小且灵敏度最高（10^-21牛级）的扭秤装置，相关成果被《现代物理评论》权威综述引用，获国际半导体物理大会优秀报告奖等国际学术认可。依托此基础研发全球首款碳基非易失存储器，作为抗辐照高性能碳基信息感测处理芯片核心组件，支撑宇航用新一代信息技术革新。 

近5年在Applied Physics Reviews（封面）、IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing、Science Advances等期刊发表一作/共一/通讯作者论文近20篇，累计申请中国发明专利20项（已授权15项）、美国发明专利（第一发明人）授权12项。 主持包括国自然项目（3项）、北京市自然基金项目（2项）、工信部高质量发展专项（课题）、国家重点研发计划（课题）等。解决集成电路设备卡脖子技术4项并实现产业转化。任中国电子学会电子测量与仪器分会副主任委员、中国仪器仪表学会科学仪器学术委员会委员、中国机械工程学会半导体设备分会创始成员、航天微电子元器件专业组委员；获得北京市科技新星（2022年）、小米青年学者（全国性基金奖励，2024年）、人社部“博新计划”人才（2018年）等荣誉。 

招收微电子、物理、仪器、自动化等相关专业硕博士研究生。本课题组培养后摩尔时代器件电路原始创新人才和集成电路设备自主发展紧缺人才，有丰富的学术、产业和国际化培养资源，发展前景广后劲足，欢迎加入！