超/特大规模集成电路(Very/Ultra Large Scale Integrated circuits:V/ULSI)，在一块芯片上集成的元件数，或门电路数高，完成信息采集、处理、存储等多种功能。用其制造的电子设备，体积小、重量轻、功耗低、可靠性高，已成为衡量一个国家科学技术和工业发展水平的重要标志，也是世界主要工业国家竞争最激烈的一个领域。